Откройте отображаемый каталог и проверьте, доступен ли файл EigProf.dat. Если файл имеется, переименуйте его.
Если путь, содержащий файл, не соответствует пути по умолчанию для RFEM 5.xx «C:\ProgramData\Dlubal\RFEM 5.xx\General Data\EigProf.dat», задайте этот путь по умолчанию в параметрах программы.